Как правильно пишется слово "сверхчеловек"?

сверхчеловек
Русский орфографический словарь

сверхчеловек, -а, мн. сверхчеловеки, -ов и сверхлюди, -людей, -людям, -людьми

сверхчеловек
Большой орфоэпический словарь русского языка

СВЕРХЧЕЛОВЕК, сверхчеловека, может произноситься с дополнительным ударением: сверхчеловек \\ [с]верхчеловек и допуст. устарелое [с’]верхчеловек; св[ие]рхчеловек и св[е]рхчеловек; све[рх]человек.

сверхчеловек
Большой толковый словарь русского языка
СВЕРХЧЕЛОВЕК, -а; мн. сверхчеловеки, -веков; м. В некоторых философских учениях: сильная личность, чья воля, желания и поступки не подчиняются никаким ограничениям.