Как правильно пишется слово "сверхчистый"?

сверхчистый
Русский орфографический словарь

сверхчистый

сверхчистый
Большой толковый словарь русского языка
СВЕРХЧИСТЫЙ, -ая, -ое. Очень, чрезвычайно чистый. С. вакуум. С-ая комната. С-ая вода. // Не содержащий в своём химическом составе ничего постороннего, без примеси. С. металл. С-ое вещество. С. материал.