Как правильно пишется слово "сверхглубокий"?

сверхглубокий
Русский орфографический словарь

сверхглубокий

сверхглубокий
Большой орфоэпический словарь русского языка

СВЕРХГЛУБОКИЙ \\ [с]верхглубокий и допуст. устарелое [с’]верхглубокий; св[ие]рхглубокий и св[е]рхглубокий; свер[γ]глубокий, но свер[х]глубокий и свер[γ]глубокий; в форме сверхглубокийсверхглубо[к’и]й и допуст. устарелое сверхглубо[кə]й.

сверхглубокий
Большой толковый словарь русского языка
СВЕРХГЛУБОКИЙ, -ая, -ое. Очень, слишком глубокий, осуществляемый на очень большой глубине. С-ая скважина, шахта. С-ое бурение. С-ое погружение.