Как правильно пишется слово "электровакуумный"?

электровакуумный
Русский орфографический словарь

электровакуумный

электровакуумный
Большой орфоэпический словарь русского языка

ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ, может произноситься с дополнительным ударением: электровакуумный \\ [э]лектровакуумный ие]лектровакуумный; э[л’е]ктровакуумый и э[л’ие]ктровакуумный; электровак[у]мный.

электровакуумный
Русское словесное ударение
электровакуумный
электровакуумный
Большой толковый словарь русского языка
ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ, -ая, -ое. Техн. Основанный на прохождении электрического тока в вакуумной среде. Э-ые приборы.