Как правильно пишется слово "субатомный"?

субатомный
Русский орфографический словарь

субатомный

субатомный
Русское словесное ударение
субатомный
субатомный
Большой толковый словарь русского языка
СУБАТОМНЫЙ, -ая, -ое. Физ. Меньший размера, веса атома. С-ые величины. С. вес.