вакуум, -а
вакуум-... – первая часть сложных слов, пишется через дефис, но: вакуумметр, вакуумметрия
ВАКУУМ, вакуума \\ вак[уу]м, в беглой речи возможно вак[у]м.
ВАКУУМ... Первая часть сложных слов, которая может быть выделена сильным ударением при опредёленных условиях во фразе, напр.: Вакуум-экстракция – это термин из области акушерства.